分辨率：

1*10⁸ atoms/cm³

脉冲发生器

电压范围

±20.4V（±102opt.）

电压分辨率

0．625mV

电流

＞±15mA

脉冲宽度

1μs-1000s

快速脉冲选配

电容表

HF信号

100Mv@1MHz(20mV optional)

范围[pF]

3,30,300,3000(自动或手动)

电容补偿

0.1-3000 pF（自动或手动）

灵敏度

0.01 fF

电压测量

范围

±10V

灵敏度

＜1μV

输入电阻

10⁶Ohm

可提供偏压补偿

电流测试

范围

5，从±1μA 到±10mA

灵敏度

＜1pA

可提供漏电保护

瞬态记录

样品速率

2μs到2000s

样品数量

16-16384（opt.64k）

可调节抗失真滤膜

标准冷却仓

温度范围

300K/10K-600K/77K~800K

温度扫描方式：

使用28个不同的相关功能（软件）通过一次温度扫描，给出28个温度扫描信号。

典型性能（Schottky Diode,Reverse Bias Capacitance 100pF@OV）

灵敏度

10^-7T/(N_D-N_A)<10^-5

能量精度

H_T+/-3%

能量分辨率

10meV

发射率

10^-3/s4/s